PUMA
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi     
Parisini A., Giubertoni D., Bersani M., Morandi V., Merli P. G., van d. B. J. Si Ultra Shallow Junctions Dopant Profiling with ADF-STEM. In: MRS Fall Meeting (Boston, 2007). Proceedings, 2007.
 
 
Abstract
(English)
MRS, Fall Meeting
Subject


Icona documento 1) Download Document PDF


Icona documento Open access Icona documento Restricted Icona documento Private

 


Per ulteriori informazioni, contattare: Librarian http://puma.isti.cnr.it

Valid HTML 4.0 Transitional