PUMA
Istituto dei materiali per l'elettronica ed il magnetismo     
Bosi M., Attolini G., Pelosi C. Manuale di Utilizzo del Reattore MOVPE 3. Rapporto interno n. 107. Technical report, 2004.
 
 
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Questo manuale si propone di illustrare al lettore l'utilizzo del reattore epitassiale denominato "MOVPE 3" e finalizzato alla crescita su larga area di semiconduttori III-V. Attualmente questo reattore è equipaggiato con una linea di Arsina, una sorgente metallo-organica (trimetilgallio, TMG) ed è comandato mediante una serie di comandi manuali tramite un sinottico realizzato con il software di automazione PL7 Pro. In futuro, la procedura di crescita verrà automatizzata, mediante un adattamento del software realizzato in Visual Basic già in uso per il reattore "MOVPE 1", in modo da ridurre eventuali errori da parte dell'operatore e gestire al meglio le "ricette" e le diverse fasi della crescita. Il lettore di questo manuale troverà un'introduzione alla tecnica MOVPE accompagnata dalla descrizione sommaria di come è composta l'apparecchiatura e di come è disposta all'interno del laboratorio. E' mostrata inoltre la collocazione dei locali che contengono le bombole di gas, degli abbattitori dei residui tossici, dei sistemi di sicurezza e sono illustrate le ipotesi di emergenze che potrebbero verificarsi con i relativi interventi. È riportata la normativa interna relativa alla manipolazione e all'uso di gas tossici, le misure di pronto soccorso nel caso di inalazione fortuita di gas tossico, con i numeri utili per il pronto intervento. Non sono inserite qui le schede di sicurezza relative ai gas e ai reagenti utilizzati, ma il lettore dovrà consultarle prima di utilizzarli. Tenuto conto che chi userà questa apparecchiatura dovrà avrà conseguito il patentino per i gas tossici, e quindi essere a conoscenza della tipologia dei gas e dei rischi, il lettore potrà essere in grado con la supervisione di un esperto di utilizzare tale reattore per la crescita di strati epitassiali di materiali III-V seguendo le procedure riportate in questo rapporto.
Subject MOVPE 3


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