PUMA
Istituto dei materiali per l'elettronica ed il magnetismo     
Attolini G., Michelotti M., Pelosi C. Manuale di Utilizzo Reattore MOVPE 1. Rapporto interno n. 100. Technical report, 2002.
 
 
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Abstract
(Italiano)
Il manuale di cui in seguito, Ŕ teso a mettere in grado il lettore all'utilizzo del reattore epitassiale MOCVD. Il lettore di questo manuale troverÓ un'introduzione sulla tecnica MOVPE accompagnata dalla descrizione sommaria di come Ŕ composta l'apparecchiatura e di come Ŕ disposta all'interno del laboratorio. E' mostrata inoltre la collocazione dei locali che contengono le bombole di gas, degli abbattitori dei residui tossici, dei sistemi di sicurezza e sono esplicate le ipotesi di emergenze che potrebbero verificarsi e i relativi interventi. Vi troverÓ la normativa interna relativa alla manipolazione e all'uso di gas tossici, le misure di pronto soccorso nel caso di inalazione fortuita di gas tossico, con i numeri utili per il pronto intervento. Non sono inserite qui le schede di sicurezza relative ai gas e ai reagenti utilizzati, ma il lettore dovrÓ consultarle prima di utilizzarli. Tenuto conto che, chi dovrÓ usare questa apparecchiatura avrÓ conseguito il patentino per i gas tossici, e quindi essere a conoscenza della tipologia dei gas e dei rischi, il lettore potrÓ essere in grado con la supervisione di un esperto di crescere strati epitassiali di materiali III-V seguendo le procedure riportate in questo rapporto.
Subject MOVPE 1


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