PUMA
Istituto dei materiali per l'elettronica ed il magnetismo     
Melioli E., Attolini L. 68HC11: Controllo Automatico del Vuoto in Camera di Crescita PLD (Pulsed Laser Ablation Deposition). Rapporto interno n. 84. Technical report, 1996.
 
 
Abstract
(English)
Vedi sommario in italiano
Abstract
(Italiano)
E' stato di recente acquisito presso l'Istituto MASPEC un sistema PLD (Pulsed Laser Ablation Deposition) per la creazione di film sottili di materiali ferroelettrici. Un fascio laser, opportunamente focalizzato e direzionato, colpisce un target di materiale ferroelettrico; si produce cosė un plasma di particelle ad alta energia, chiamato "plume", che forma, su un substrato riscaldato, un film sottile del composto utilizzato come target. Il processo avviene sotto vuoto o in una atmosfera controllata....
Subject 68HC11


Icona documento 1) Download Document PDF


Icona documento Open access Icona documento Restricted Icona documento Private

 


Per ulteriori informazioni, contattare: Librarian http://puma.isti.cnr.it

Valid HTML 4.0 Transitional