PUMA
Istituto dei materiali per l'elettronica ed il magnetismo     
Attolini G., Pelosi C. Le Fonti di Rischio e le Procedure di Sicurezza nell'Epitassia MOVPE. Rapporto interno n. 72. Technical report, 1992.
 
 
Abstract
(English)
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Abstract
(Italiano)
La preparazione di strati epitassiali utilizzando la tecnica organometallici (MOVPE) ha conosciuto in questa ultima decade una diffusissima applicazione in diversi laboratori di ricerca, e da una parte questo approccio diffuso ha fatto si che la creatività dei singoli ricercatori sviluppasse modelli di reattori non convenzionali ma dall'altra ha portato a sottovalutare i problemi di sicurezza connessi con l'uso di sostanze tutte e diversamente pericolose, quali gli idruri, i metallorganici e l'idrogeno.....
Subject MOVPE


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